光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
　　
　　光學輪廓儀對各種產品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
　　
　　光學輪廓儀的應用領域：
　　
　　傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。
　　
　　光學輪廓儀最初應用在光學加工行業時，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開始引起加工人士的注意并開始應用。光學輪廓儀已在汽車發動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關節制造、量塊標定等方面有大量的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。
　　
　　光學輪廓儀讓光學輪廓測量價格更為實惠，使用了目前先進的垂直掃描干涉(VSI)結合高精確度相移干涉(PSI)測量，以前所未見的價格使得表面形貌研究進入次納米等級。