奧林巴斯半導體檢測顯微鏡 MX61L/MX61在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調節，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
　　為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
　　對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物臺手柄，可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。